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AlN基板与金属化层界面的分析电镜研究
利用各种分析电镜观察了掺杂助烧剂和未掺杂助烧剂的AlN陶瓷的微观结构特征,鉴别了AlN中的第二相,研究了AlN中的第二相,研究了AlN基板上薄膜(Au-Pt-Ti)和厚膜......
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氮化铝
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金属化层界面
分析电镜
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