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金硅键合相关论文
基于SOI的电场传感器
近年来,国家电网提出“坚强智能电网”的发展规划,其核心技术在于利用传感器对关键设备运行状况进行实时监控。而电晕放电、间隙闪络......
学位
电场传感器
SOI
MEMS
金硅键合
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MEMS圆片级真空封装金硅键合工艺研究
提出一种适用于微机电系统(MEMS)圆片级真空封装的键合结构,通过比较分析各种键合工艺的优缺点后,选择符合本试验要求的金硅键合工......
期刊
MEMS
真空封装
金硅键合
圆片级
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