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AlN钝化层对AlGaN/GaN异质结及其高温特性的影响
主要研究了AlN钝化介质层对AlGaN/GaN异质结势垒层应力的修改以及应力的变化对二维电子气高温输运性质的影响。研究结果表明:AlN介质......
期刊
AlGaN/GaN异质结
钝化介质
表面态
二维电子气
AlGaN/GaN heterostructure passivation dielectric sur
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