钨缓冲层相关硕士博士期刊学术论文

采用离子束复合磁控溅射技术在硬质合金上制备了不同缓冲层厚度的类金刚石薄膜.采用纯W靶作为溅射源,溅射气体为Ar,通过改变沉积时......