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用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Mo-n团簇束,当团簇束分别在偏压为0、1、3、5、10 kV的电场中加速后,沉积在室温下的P型Si(1......
期刊
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Mo-n团簇束,当团簇束分别在偏压为0、1、3、5、10 kV的电场中加速后,沉积在室温下的P型Si(1......
