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铂硅化物相关论文

退火气氛中痕量氧在反应形成Pt硅化物中的作用

利用X-射线衍射,XPS和AES技术深入地研究了退火气氛中氧对Pt硅化物薄膜的固相成分的影响,发现痕量氧引起硅和铂(Pt)的不完全反应.......

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硅化物 Pt 铂硅化物退火过程固相成分深度分布衍射谱薄膜退火工艺电子束蒸发

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期刊

铂硅化物退火痕量氧 Platinum silicideAnnealingTrace oxygen

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