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铜布丝相关论文
ULSI制备中铜布线的两步抛光技术
在超大规模集成电路(ULSI)铜布线工艺中,采用阻挡层来提高铜与衬底的粘附性,主要是为了防止铜原子向介质或衬底中扩散。为了达到全局平......
期刊
ULSI
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