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铜布线技术相关论文
东芝公开了利用自组织隔离膜的铜布线技术面向32nm工艺的应用
据日经BP社报道,东芝在CEATEC JAPAN2007上展示了使用自组织隔离膜的铜布线技术。计划应用于2009至2010年投入量产的32nm工艺。此次......
期刊
铜布线技术
隔离膜
自组织
工艺
应用
东芝
300MM晶圆
投入量
绿色印刷布线技术和关键材料的研究
传统电子电路的布线技术主要基于减成法工艺,即覆铜板刻蚀工艺,其特点是工艺步骤复杂、能耗高、成本高以及环境污染严重等。此外,......
学位
印刷电子技术
导电银浆
纸质印刷电子技术
铜布线技术
印刷电子电路
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