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锗缓冲层相关论文
Ta、Ge缓冲层上硅薄膜的制备及微结构分析
传统的硅薄膜材料因其优良的性能,已经获得了广泛的应用。究其原因,一则硅工艺是目前为止最为成熟的半导体工艺,是信息化的基础,硅薄膜......
学位
硅薄膜
钽缓冲层
锗缓冲层
柱状晶
结晶性
微结构
光致发光
脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜
为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。......
期刊
脉冲激光沉积
多层类金刚石膜
锗缓冲层
低内应力
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