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键合-深刻蚀释放体硅工艺相关论文
双框架解耦微陀螺原理样机研制
为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优......
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微惯性测量组合
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