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氢化非晶硅氧薄膜微结构
以Raman散射、X射线电子能谱和红外吸收光谱细致研究了PECVD法250℃衬底温度下制备的氢化非晶硅氧(a-SiOx:H)薄膜的微结构及键构型.......
期刊
氢化非晶硅
薄膜微结构
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键构型
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电子能谱
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氧含量
氢化非晶硅氧薄膜微结构
以Raman散射、X射线电子能谱和红外吸收光谱细致研究了PECVD法250℃衬底温度下制备的氢化非晶硅氧(a-SiOx∶H)薄膜的微结构及键构......
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a-SiOx∶H
微结构
键构型
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