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镍膜微桥相关论文

微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量

利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品.采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得......

期刊

材料测量与分析技术镍膜微桥 MEMS技术弹性模量残余应力 measuring and analysis for materials nickel film

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