镍铂合金薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

镍铂合金薄膜相关论文

镍铂合金溅射靶材在半导体制造中的应用及发展趋势

镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射，镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜，实现半导体接触及互连。......

期刊

金属材料镍铂合金薄膜镍铂硅化物溅射靶材半导体发展趋势 metal materials nickel platinum alloy films ni

看过本文同时还关注