陶瓷微器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

陶瓷微器件相关论文

陶瓷微器件的软刻蚀成形研究进展

软刻蚀技术是基于传统光刻蚀技术提出的一系列技术,包括微模塑、转移微模塑和毛细微模塑等,其共同特点是利用弹性模作为微结构转移......

期刊

软刻蚀陶瓷微器件弹性模 soft lithography ceramic microcomponents elastomeric mold

陶瓷微器件的软刻蚀成形

陶瓷微器件具有高硬度、低密度、耐高温、耐腐蚀和良好的生物兼容性等优异性能,被越来越多的应用于制备微传感器、微反应器、微阵......

学位

陶瓷微器件软刻蚀 Al2O3微流道 PDMS模浆料干燥烧结

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