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陶瓷膜压电微振子相关论文
MEMS用PZN复合功能陶瓷膜的研制
本文采用金属有机化合物热解法(MOD),选择PZN-xPT材料体系,系统考察了化学组成、溶液特性、衬底特性、热过程等工艺参数对陶瓷膜......
学位
PZN复合陶瓷膜
MOD法
钙钛矿相结构稳定
陶瓷膜压电微振子
MEMS技术
弛豫铁电
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