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集成电路光刻机相关论文
精密气浮运动平台动力学建模与动态误差分析
精密气浮运动平台广泛应用于精密加工、精密检测等领域,并不断向高速度、高加速度、高精度方向发展。精密气浮运动平台大多采用气......
学位
集成电路光刻机
气浮运动平台
驱动力偏心
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