集束型设备相关论文
为了提升单臂集束型设备的利用率,优化动态到达晶圆驻留与连续重入的调度问题,提出了一种结构式启发式调度算法.在界定调度问题域......
集束型制造设备已经成为半导体生产半导体行业中的主流制造设备。在集束型制造设备中，一台真空机械手负责在不同的制造工序即各制造......
论文来源于新松公司的科技部超大规模集成电路制造装备重大专项：300mm智能真空机械手关键技术及样机研制。在查阅了大量资料的基础......
为有效解决半导体制造业中带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度问题,提出一种以优化搜索为核心的调度方法.首先,引入优化FIFO(......
为了提升单臂集束型设备的利用率，优化动态到达晶圆驻留与连续重入的调度问题，提出了一种结构式启发式调度算法．在界定调度问题域的基......
研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备--集束型设备(cluster tools)的预防维修计划优化问题.基于半导体集成电路......
针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了......
为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性，同时降低其维护成本，提出了基于Markov链的预防性维护建模方法．根据集束型晶圆制造设备......
为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题......
针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集柬型设备调度问题，提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法．首先将问题转换为......
