静电力非线性相关论文
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分......
微机械陀螺仪是一种用于测量角速度和角位移的静电驱动MEMS惯性器件。它以性能可靠、体积小、响应快、能耗低、成本低和智能化等特......
为揭示静电力非线性及刚度非线性综合作用下多自由度微陀螺的静态特性,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,用Hamilton原......
