随着MEMS(微机电系统)技术的发展,作为动力元件以及关键执行部件的微电机,一直是微机电领域研究的焦点之一。微电机兼有驱动和精密......

针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题，建立了一般解析物理描述模型，并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺......

介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法，它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要，其主要......

针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题，建立了一般解析物理描述模型，并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺......

自1987年首台静电微电机诞生以来,微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展.对静电微......