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静电悬浮加速度计.相关论文

闭环点位置对静电悬浮加速度计性能影响研究

为研究差动电容式静电悬浮加速度计非线性、零偏、标度因数、噪声以及量程与闭环点位置的关系,推导了闭环点位置与上述参数关系的......

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非线性闭环点位置零偏静电悬浮加速度计. nonlinearity closed-loop position bias electrostati

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