静电梳齿相关论文
在已有的工艺技术条件下，设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化，这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG......
提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析，着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效......
基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处......
随着科学技术的发展,外腔可调谐半导体激光器受到人们的极大关注。与其他可调谐激光器相比,可调谐半导体激光器具有波长调谐范围宽......
