非偏振分光镜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非偏振分光镜相关论文

非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响

提出了一种新型激光外差干涉椭偏测量术用于实现纳米级精度的薄膜厚度测量。采用偏振光P和S分量透射比、反射比、反射相移、透射相......

期刊

椭偏测量干涉式椭偏仪非偏振分光镜膜厚测量退偏效应方位角误差

非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响

除了激光源、偏振分光镜（PBS）和波片等偏振器件之外，非偏振分光镜（NPBS）也是外差干涉仪中重要的非线性误差源。研究了多层介质膜NPBS的......

期刊

测量外差干涉仪非线性误差非偏振分光镜退偏效应方位角误差

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