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非共轴平衡光路相关论文
基于非共轴平衡光路的外差激光干涉周期非线性抑制方法
随着超精密工程与纳米技术的发展,外差激光干涉测量技术正在向高加速度、高测速、亚纳米精度的方向发展。影响亚纳米精度的因素众......
学位
外差干涉测量
周期非线性
非共轴平衡光路
双光束光源
正交解调
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