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非平衡磁控系统相关论文
非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究
鉴于真空镀膜机中,非平衡磁场控制溅射系统的"遮以阴影"弊端,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案,为增加等离子体的范围和......
期刊
非平衡磁控系统
等离子体
磁控溅射
“遮以阴影”
真空镀膜机
unbalanced magnetron
sputtering system
shadow
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