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非晶态铝-氮薄膜相关论文
离子束增强沉积技术在薄膜制备中的应用研究
详细讨论离子束增强沉积IBED技术的原理、技术优势和在薄膜生长中的应用。采用IBED在Si衬底上制备出了非晶态Al-N薄膜。结果发现,IB......
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非晶态铝-氮薄膜
薄膜制备
离子束增强沉积
薄膜生长
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