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氢流量对富硅-氮化硅薄膜键结构及光学性质的影响
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH4、NH3和H2为反应气体,通过改变氢流量来制备富硅-氮化硅薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱......
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等离子增强化学气相沉积
富硅-氮化硅薄膜
非晶硅量子点
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