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非焊接式相关论文
非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计
纳米线机械性能测试中,常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线,限制了器件寿命和测试重复性。针对焊接方式测试的不足,设计了......
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微机电系统
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非焊接式
静电驱动
接触滑移
MEMS
mechanical properties
rigidity difference
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