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非球面轮廓相关论文
基于标准微电子工艺制作折射及衍射微光学结构
本文研究了一种新的针对微光学元件的工艺制备技术。其主要特征有:利用{100}晶向的硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性,经过一系列标......
学位
折射光学元件
衍射光学元件
微电子工艺
硅各向异性腐蚀
非球面轮廓
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