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非致冷焦平面探测器相关论文
氮化硅支撑层薄膜的PECVD法制备及性能研究
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))上成功制备了用于非致冷红外焦平面阵列微桥结构支撑层的氮化硅薄膜......
期刊
氮化硅薄膜
PECVD
非致冷焦平面探测器
微桥结构支撑层
silicon nitride thin films PECVD UFPA microbridge
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