面形精修相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

面形精修相关论文

利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差

极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈.离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,......

期刊

几何光学三叶像差面形精修条纹泽尼克多项式 geometrical optics trefoil aberration lens surface re-po

投影光刻物镜的光学设计与像质补偿

本文针对极大规模集成电路制造的工业化生产需求,开展面向100nm曝光节点的高数值孔径(NA)、深紫外(DUV)投影光刻物镜的光学设计与......

学位

光学设计投影光刻物镜像差的空间频率像质补偿面形精修

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