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鞘层调制相关论文
束线/浸没复合加速离子注入及鞘层调制数值仿真研究
离子注入改性层具有不影响工件外形尺寸、不存在膜基结合问题等突出优点,使得离子注入表面改性技术成为一种重要的材料改性手段。等......
学位
离子注入
鞘层调制
复合加速
均匀性
粒子模拟
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