高介电栅介质薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高介电栅介质薄膜相关论文

高介电栅介质薄膜的原子层沉积技术制备、界面结构与电学性能研究

随着器件的尺寸持续缩小，发展与现存金属-氧化物-半导体场效应管(Metal-oxide-semiconductor field-effect transistors，MOSFETs)工......

学位

高介电栅介质薄膜原子层沉积技术界面结构电学性能

几种微电子材料的制备、表征与性能研究

在对更快、更小和更高性能的电子设备的需求驱动下,微电子工业高速发展。集成电路的特征尺寸以及用于不同电路之间连接的印刷电路......

学位

高介电栅介质薄膜无水硝酸盐原子层沉积化学气相沉积电荷俘获型存储器背散射电子衍射电镀铜自退火

看过本文同时还关注