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高深宽比光刻胶结构相关论文

微弯曲面成型技术—多线成面技术

熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助......

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高深宽比光刻胶结构熔融成型二次涂胶定型微弯曲面任意形状表面 High aspect ratio photoresist structuresMeltin

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