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高温低氧工艺相关论文

ITO透明半导体膜的研究

采用直流磁控溅射ITO陶瓷靶的高温低氧工艺,在玻璃衬底上成功地镀制了ITO透明半导体膜,其可见光透过率达80%以上,电阻率降到3&#215......

期刊

ITO透明半导体膜铟锡氧化物 ITO陶瓷直流磁控贱射高温低氧工艺光透过率电阻率 ITO semiconductor film magnetron sp

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