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高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究
非致冷红外探测器/微测辐射热计作为属于第三代的基于微机电系统MEMS技术的红外探测器,由于具有体积小、重量轻、功耗低、易携带、......
学位
非致冷红外探测器
氧化钒薄膜
黑金薄膜
多孔硅
表面微加工
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