高效的六芳基双咪唑光引发剂及其在光致抗蚀干膜中的应用

来源 :2011第十二届中国辐射固化年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JESSEA11
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研究了BCIM、TCTM、TCDM、B1-HABI和B2-HABI五种六芳基双咪唑化合物的紫外吸收性能,B1-HABI在365nm的摩尔消光系数为10540,比SBCIM和TCTM分别高38倍和28.5%,在405nm的摩尔消光系数为2712,比TCTM高3.5倍。采用BCIM+EMK、TCTM、TCDM、B1-HABI和B2-HABI制作了光致抗蚀干膜,365nm曝光,B2-HABI和B1-HABI感光度最高;405nm曝光,B1-HABI的感光度最高。B1-HABI和B2-HABI是引发效率最高的光引发剂,在光致抗蚀剂以及紫激光CTP制版等领域有广阔应用前景。
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