【摘 要】
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本服务利用常压化学气相沉积法在浮法玻璃表面制备了二氧化钛薄膜，研究了水蒸气、氧气含量和衬底温度以及反应器与衬底的距离对薄膜制备过程中沉积速率的影响。结果表明：当水蒸
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,北京,100024
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本服务利用常压化学气相沉积法在浮法玻璃表面制备了二氧化钛薄膜，研究了水蒸气、氧气含量和衬底温度以及反应器与衬底的距离对薄膜制备过程中沉积速率的影响。结果表明：当水蒸气质量浓度为50mg/L.氧气含量为总气体流量的8[％]时,薄膜的沉积速率可达30nm/s,随着衬底温度从300℃升到600℃,薄膜的沉积速率从15nm/s增加到30nm/s。然而随着反应器与衬底的距离从2mm增加到12mm,薄膜的沉积速率从30nm/s降到10nm/s,但大面积薄膜层的厚度差从10nm降低到2nm,薄膜比较均匀。
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