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该文对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究。从决定平板运动阻尼特性的Ｒｅｙｎｏｌｄｓ方程出发，在平板平动解的基础上推导了板非平动的阻尼力以及双面阻尼的阻尼力。用这些结果对三种结构进行了单面和双面阻尼设计，实验结果与理论分析相符。
微机械结构硅加速度传感器的空气阻尼
【摘 要】
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该文对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究。从决定平板运动阻尼特性的Ｒｅｙｎｏｌｄｓ方程出发，在平板平动解的基础上推导了板非平动的阻尼力以
【机 构】
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大学
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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