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本文报道了一种推导在任意坐标中硅压阻系数矩阵(四级张量)的新方法,即利用矩阵代数运算的方法批量的得到硅压阻系数矩阵的所有矩阵元.所得的结果还可以很清楚地显示出矩阵元之间的关系.
硅压阻系数张量的矩阵推导
【摘 要】
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本文报道了一种推导在任意坐标中硅压阻系数矩阵(四级张量)的新方法,即利用矩阵代数运算的方法批量的得到硅压阻系数矩阵的所有矩阵元.所得的结果还可以很清楚地显示出矩阵元之间的关系.
【机 构】
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微电子学系专用电路和系统国家重点实验室,复旦大学(中国上海)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年5期
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