【摘 要】
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扫描探针声学显微术(Atomic Force Acoustic Microscopy,AFAM)是国外90年代中期发展起来的基于AFM微悬臂梁振动的一种纳米力学表征方法。它有两种模式,一种是定性模式,能
【机 构】
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北京大学工学院力学与科学工程系,湍流与复杂系统国家重点实验室,北京,100871
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扫描探针声学显微术(Atomic Force Acoustic Microscopy,AFAM)是国外90年代中期发展起来的基于AFM微悬臂梁振动的一种纳米力学表征方法。它有两种模式,一种是定性模式,能分辨出材料由于弹性模量不同而形成的微结构,但不能测量模量,这种模式国内上海硅酸盐研究所也于2005年左右开发出来；另外一种模式是定量模式,即模量成像功能,最早由德国萨尔布吕肯无损检测研究所于2002年左右开发出来,而后美国国家标准所(NIST)于2005年也实现了该功能。然而,上述AFAM模量成像的最大问题是成像速度很慢,扫一幅256*256的图至少需要30分钟左右。
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