本文介绍了一种基于飞秒激光诱导化学刻蚀技术与微压印复制技术相结合，制备微透镜阵列匀光器的方法.首先，利用飞秒激光对被加工材料进行诱导微区改性，然后通过化学辅助刻蚀、材料去除，形成凹面微透镜阵列.采用该方法我们在平面玻璃材料表面加工出了面积为3×3mm2的六边形(矩形、三角形等)高填充比微透镜阵列，并以此为母版，结合微压印工艺对该微透镜阵列模板进行了复制，其三维形貌的共焦显微镜测试结果表明：1.飞秒激光加工技术制备的微透镜阵列具有很好的一致性.2.所复制出的微透镜阵列与母版具有较好的保真度.此外，我们还采用Tracepro光线分析软件对所制备的微透镜阵列匀光器进行了仿真分析，结果表明这种微透镜阵列匀光器匀光效果良好.用该方法制备匀光器不仅具有工艺简单、加工效率高的特点，而且与微压印复制技术相结合，可以实现微透镜阵列匀光器的大规模的生产，降低成本，满足工业化要求.