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在MEMS光开关阵列设计中,扩展性是一项非常重要的指标。本文通过对MEMS光开关微镜的耦合损耗问题的分析,研究了决定MEMS光开关扩展性的因素,认为耦合结构中的角度失配是影响MEMS光开关阵列扩展性的关键。
MEMS光开关阵列扩展性的研究
【摘 要】
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在MEMS光开关阵列设计中,扩展性是一项非常重要的指标。本文通过对MEMS光开关微镜的耦合损耗问题的分析,研究了决定MEMS光开关扩展性的因素,认为耦合结构中的角度失配是影响M
【机 构】
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重庆邮电学院光电工程学院;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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重庆邮电学院青年基金项目A2003-06支持.
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