【摘 要】
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提出了陶瓷表面改性的离子注入辅助多弧离子镀技术概念,运用该技术对氮化硅陶瓷进行的表面改性研究表明:陶瓷注入一定量钛离子后,注入层结构和性能呈梯度分布,注入层具有很强
【机 构】
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清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室(北京)
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提出了陶瓷表面改性的离子注入辅助多弧离子镀技术概念,运用该技术对氮化硅陶瓷进行的表面改性研究表明:陶瓷注入一定量钛离子后,注入层结构和性能呈梯度分布,注入层具有很强的导电能力;在该注入层基础上淀积多组分硬质薄膜TiAIN,TiCrN和TiCrN,陶瓷基体与薄膜之间具有较好的粘结性能,纳米划痕试验的临界载荷可达到60mN以上;多组分薄膜具有优异的力学性能,动态载荷下的纳米硬度可达40Gpa以上.该陶瓷表面改性技术可望有较好应用前景.
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