【摘 要】
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利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域.
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器实验室(上海)
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利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域.传统三维加速度传感器的设计思路是将三个一维加速度传感器简单地组合在一起,分别感知三个相互垂直方向上的加速度.其缺点是所占面积大,成本高(特别是封装成本).与此不同,本文提出一种多维加速度传感器的新设计.该微型加速度传感器为可批量加工的压阻型器件,只有一个敏感元件,通过结构的合理设计,可以同时测得x<->y<->和z<->方向等三个方向的加速度分量,用以代替一般用三个一维加速度传感器(或一个二维加速度传感器和一个一维加速度传感器)构成的三维加速度组件.有望在汽车、工业控制和武器系统中得到应用.
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