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在硅基器件接近其物理性能极限的当今，碳纳米管因其具有独特的准一维中空结构和纳米尺寸，以及极高的机械强度和卓越的电学特性，成为诸多领域重要的研究前沿和构筑微纳机电器件的理想材料。在微纳制造领域，采用碳纳米管基薄膜作为MEMS功能材料，在生物检测、柔性电极及力传感器等领域具有重要的潜在应用。但是，碳纳米管的可控自组装、薄膜制备监测及性能表征仍是目前碳纳米管器件发展中有待解决的瓶颈问题。本文研究结果对于制造新一代高性能微纳机电薄膜器件提供了新型材料保障，为研发具有特定功能的碳纳米管基自组装薄膜传感器、人工电子肌肤等奠定理论基础。