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自1982年日本无机材料研究所的研究人员在世界上首次宣布人工合成金刚石薄膜获得成功以来，国内外对该材料研究久演不衰，其原因在于它是一种独具魅力的新型电子材料。金刚石薄膜是迄今为止已知材料中硬度最大、透光范围最宽、声速最大、室温下热导率最高的材料，除此之外，它还具有带隙宽、载流子迁移率高和极佳的化学稳定性，它在电学、光学、升学、热学、机械以及军事领域中有着广泛的应用前景。本文介绍了金刚石薄膜的特性与应用，并就金刚石薄膜的制备技术进行简述。