论文部分内容阅读
随着等离子体技术的工业化发展，对离子源的要求日益提高。射频等离子体作为一种产生等离子体的重要类型被人们广泛深入地研究和应用。射频感应耦合等离子体的特点是能产生高密度的纯净等离子体，使用寿命长，性能价格比高。其提供的电流密度和均匀性可用于预清洗、刻蚀、离子束辅助沉积(IBAD)，尤其适合用于光学镀膜和薄膜沉积，包括金属氧化物和其它电介质材料。矩形截面的离子束可高效、均匀地处理柔软的金属薄条、平板显示器、大面积基底或在条形或圆柱的夹具上的基底。本文介绍了无灯丝、电感耦合的条形射频离子源。主要介绍了离子源引出系统的设计及实验结果。