【摘 要】
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该文介绍了一种高精度、低成本的通用型长光栅动态检测系统的工作原理、系统结构、硬件电路、测量软件设计以及实验结果与分析。该检测系统的特点是不用高精度激光干涉比长仪
【出 处】
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中国计量测试学会几何量专业委员会1990年全国年会
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该文介绍了一种高精度、低成本的通用型长光栅动态检测系统的工作原理、系统结构、硬件电路、测量软件设计以及实验结果与分析。该检测系统的特点是不用高精度激光干涉比长仪而采用标准光栅作为长度测量基准，用微机进行动态检测，采用误差修正技术，从而达到较高的测量精度。采用高倍细分电路使系统分辨率达到0.05μm。实验结果表明 ，该光栅动态检测系统的分辨率和系统精度已接近激光动态检测系统同一数量级。（本刊录）
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