【摘 要】
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我们已经生长出质量极高的长波、甚长波超晶格材料,XRD表明长波、甚长波p-i-n型器件结构的X射线双晶衍射卫星峰半宽分别为17和21弧秒,应变都在10-4量级.两个器件在77 K温度下
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京100083
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我们已经生长出质量极高的长波、甚长波超晶格材料,XRD表明长波、甚长波p-i-n型器件结构的X射线双晶衍射卫星峰半宽分别为17和21弧秒,应变都在10-4量级.两个器件在77 K温度下,50％截止波长分别为9.6微米和14.5微米[1,2].最近我们向更长波长进行拓展,采用特殊的界面设计,生长出质量极高的超晶格材料,XRD测试表明,超晶格的零级峰与衬底峰几乎完全重合,超晶格半高宽为21.6弧秒,表明我们器件结构具有非常好的晶体质量.已经成功研制出77K温度下,50％截止波长为17微米的甚长波红外探测器单管.
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