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本文阐述了平板荫罩槽孔变形的发生原因.以平板荫罩槽孔变形的原因分析为基础,通过试验论证后,对平板荫罩制造过程中光抗剂膜的干燥温度、曝光后钢带的滞留时间、显影温度等工艺条件进行调整,较好地解决了平板荫罩槽孔变形的现象。
改善平板荫罩的槽孔形状
【摘 要】
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本文阐述了平板荫罩槽孔变形的发生原因.以平板荫罩槽孔变形的原因分析为基础,通过试验论证后,对平板荫罩制造过程中光抗剂膜的干燥温度、曝光后钢带的滞留时间、显影温
【机 构】
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上海新芝电子有限公司
【出 处】
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上海市真空学会第八届学术年会
【发表日期】
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2002年期
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